载荷及位移幅值对DLC薄膜微动磨损行为
【摘要】 为了提高TC4钛合金表面的抗微动磨损性能，在本文中采用非平衡磁控溅技术(Unbalanced MagnetronSputtering)在TC4钛合金表面沉积了类金刚石(DLC)薄膜. 采用球/平面接触形式研究了DLC薄膜的微动摩擦磨损行为. 在不同法向载荷和位移幅值下，结合微动运行工况图研究了DLC薄膜滑移状态和损伤机理. 利用原子力显微镜、纳米压痕仪、激光拉曼光谱仪、激光共聚焦显微镜、场发射扫描电子显微镜和SRV-V微动摩擦磨损试验机等设备对DLC薄膜进行性能的表征和微动摩擦磨损性能测试. 通过微动图，摩擦耗散能，磨痕形貌、化学成分分析揭示其损伤机理. 结果表明:载荷和位移幅值对DLC薄膜微动摩擦磨损行为和损伤机理有显著影响. 当位移幅值为25 μm时，微动运行于混合滑移(mixed slip regime，MSR)情形下，当位移幅值为100 μm时，微动运行于完全滑移(gross slipregime，GSR)情形下. 小位移幅值时，DLC薄膜磨损机理是磨粒磨损为主;大位移幅值时，DLC薄膜磨损机理是黏着磨损为主. 干摩擦条件下，DLC薄膜有良好的抗微动磨损性能，关
