厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征
【摘要】 目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜，改善SUS304不锈钢的耐磨性与耐蚀性，拓展其使用范围。方法使用等离子增强化学气相沉积（PECVD）技术，在C2H2-SiH4气氛中，通过Six-DLC与Siy-DLC交替沉积的制备方法，以SUS304不锈钢为基底，制备了厚度为20.0、34.9、41.6μm的三种不同调制比（1∶5、1∶1、4∶1）的厚类金刚石碳基薄膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、纳米压痕仪、RST3划痕仪，分析了厚DLC薄膜的微观结构与力学性能。利用CSM摩擦磨损试验机评价厚DLC薄膜的摩擦学性能，并用能谱仪对磨斑成分进行分析。利用电化学工作站分析厚DLC薄膜的腐蚀行为，并用扫描电镜观察腐蚀形貌。结果厚DLC薄膜结构致密，强化效果明显，硬度最高达13.8GPa，结合力在21~29N范围内。SUS304不锈钢的摩擦系数在跑和阶段急速升高至0.5，随着滑动次数的增加，呈上升趋势，1h后，磨损率无法用轮廓仪测量。厚DLC薄膜在低载荷与高载荷下的摩擦系数始终保
