光刻调焦调平测量系统算法比较研究
【摘要】 调焦调平测量系统是光刻机对焦控制的核心部件，调焦调平测量系统的数据处理精度影响光刻机的对焦控制）算）算法在调焦调平测量系统中的测量精度与计算耗时。仿真与实验结果表明，多项式算法精度随计算时间的增加而迅速提升。对于不存在噪声的仿真数算法和时，拟合精度基本趋于;时可对仿真数据完全拟合;算法与超越多项式拟合算法，但精度提升有限。在光刻机中，为了兼顾对焦精XGBoostRF2msRF5ms3ms算法对噪声有较好的鲁棒性，随计算时间的增加，算法拟合精度不断提升并分别于。对于存在噪声的实验数据，阶多项式拟合的3σ值为XGBoostXGBoostXFBoost0.6nmpolynomialfittingrandomforest5ms算法与算法在算法在RFRF）、7（和度和产能，必须兼顾算法的拟合精度与拟合时间，因此调焦调平测量系统选用多项式拟合算法较为合适。
