放电功率变化对电磁波在电感耦合闭式等离子体中的衰减特性
【摘要】 射频电感耦合等离子体(ICP)放电方式能够在较宽的压强范围内产生大面积、密度高的等离子体，在对电磁波衰减应用中具有较大优势。通过研究ICP等离子体与电磁波相互作用的过程，改进闭式等离子体模型，建立电磁波在非均匀等离子体中传播的分层计算模型，对实测诊断分布情形下等离子体与电磁波的相互作用进行研究，得到不同功率条件下电磁波衰减的变化情况;提出射频电感耦合闭式等离子体用于电磁波衰减的方法并实验验证，基于等离子体覆盖金属平板的测量模型，在实验室内搭建了以金属板为衬底的弓形微波反射测试系统，研究了闭式等离子体对4
