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基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

【摘要】 针对MEMS火工品低能化、集成化技术要求，设计了一种基于MEMS工艺的微起爆器，通过仿真计算获得了基体材料、换能元材料、火工药剂与微起爆器起爆性能的影响规律，确定了微起爆器的结构参数;通过MEMS工艺完成微起爆器一体化集成制作，对结构参数以及起爆性能进行了测试，结果表明结构尺寸与设计尺寸误差小于6%;微起爆器发火电压小于3V，装药直径1mm、装药量2.0mg时，可以可靠起爆CL-20炸药，实现了低能化、集成化的要求，为MEMS火工品提供技术支撑。

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