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压电弯曲效应弹性环晶片夹持结构设计

【摘要】 为验证石英晶片弯曲效应，设计了弹性环晶片夹持结构根据弹性力学和压电学推导石英晶片弯曲应力和极化强度计算公式，接着对设计的弹性环晶片夹持结构进行受力分析，为了减少结构变形对传感器使用影响，根据弹性力学能量原理推导出在载荷作用下该弹性环结构静刚度计算公式，并采用有限元方法进行强度和刚度校核理论计算、有限元分析和实测均表明，该弹性环晶片夹持结构刚度该弹性环晶片夹持结构必将促进新型悬臂梁测力传感器和微执行器的研发，满足传感器设计要求>10kgf/um。。。

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