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硅微谐振式加速度计温漂补偿研究

【摘要】硅微谐振式加速度计的输出信号是由谐振频率反映的，谐振频率的特性决定了仪表的精度加速度计的谐振频率具有温敏特性，当温度变化时，便会产生测量误差计的外围控制系统，在分析加速度计谐振频率补偿方法温度补偿工作间，相较于补偿前的加速度计零偏漂移减小了66.7%。