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电液伺服阀用微位移放大机构发展现状

【摘要】 压电陶瓷、超磁致伸缩材料等新型功能材料具有优良的力学性能和频响特性，但利用其开发的致动器输出位移小，大多仅为微米级，难以满足大流量电液伺服阀阀芯驱动的要求，因此需设计相应的微位移放大机构以放大致动器的位移输出。根据不同的作用原理和结构形式，伺服阀用微位移放大机构可分为机械式和液压式两种。梳理了微位移放大机构的发展脉络，介绍了不同形式的放大机构的工作原理和作用效果，分析比较了各类放大机构的优缺,占、。

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