双波长干涉显微镜波长的双约束标定
【摘要】 作为测量的精度来源，双波长干涉显微镜的光波长需要精确标定以溯源至长度基准。本文提出了一种基于两个光波长之间关系、波长与长度基准之间约束的标定方法。理论分析得到了表面重构误差与波长误差之间的关系，认为表面跳变与高度对两个光波长具有足够的约束自由度，并基于理论分析提出了一种双约束的标定方法。该方法通过测量斜平面与标准高度台阶，分别约束了两个光波长之间的比例关系与算术关系，然后通过求解两个约束关系能够确定光波长。仿真结果表明，双约束标定波长的精度可达到0.1nm。经过本文方法标定的双波长干涉显微镜，测量微沟槽深度的精度可达到0.5nm。本文标定方法仅需一块标准高度台阶，为干涉显微镜提供了一种简单的高精度波长标定方法，并可以推广应用于双波长数字全息、三波长干涉等技术。关键词:精密测量;干涉显微镜
