基于调制度的显微光滑表面面形测量方法
【摘要】 设计了一种适用于光滑表面的调制度显微测量系统，系统包括两个远心镜头、一个半透半反镜、一个显微物镜、一个CCD相机和一个DMD数字投影仪。由远心镜头和显微物镜结合将数字投影仪产生的条纹图像成像到显微物镜物面，得到虚拟的标准条纹图，待测表面对该虚拟条纹图的反射像将沿显微物镜光路返回进入CCD像平面，待测物体在高精度一维平移台的控制下沿光轴移动，根据相移算法可以从获取的条纹图中计算出每个位置的图像调制度，通过查找调制度最大值对应的位置，即可完成待测物点的三维形貌测量。实验结果表明该显微调制度测量方法能获得高精度面形，特别适用于微小形貌剧烈变化物体面形测量。
