CrAlN抗冲蚀涂层制备及性能研究
【摘要】 为提高钛合金材料抗冲蚀性能，利用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金上沉积CrAlN涂层，研究靶电流、偏压和气压对涂层结构及性能的影响。采用扫描电镜观察膜层表面和截面形貌，金相显微镜对表面的大颗粒进行定量分析;显微硬度计测量膜层的维氏显微硬度;采用喷砂试验机对涂层的抗冲蚀性能进行测试，通过三维表面轮廓仪测量涂层厚度和侵蚀坑的深度;X射线衍射仪表征涂层中的晶体结构。结果表明:靶电流从70A增大到110A，虽可提高涂层的沉积速率，但会导致涂层表面大颗粒增加，从而降低涂层的抗冲蚀性能;气压从1Pa增大至4Pa，可有效地减少涂层表面颗粒的尺寸及数量，但也会一定程度降低沉积速率及硬度;偏压对CrAlN涂层的结构及性能影响最大，偏压在-50V时涂层呈（200）择优取向，-100V涂层呈（111）择优取向，-200V时，涂层择优取向不明显;且随着偏压的增加，涂层的硬度及抗冲蚀性能增大，在高冲蚀角下，冲蚀的失效机理
