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基于Talbot-Moiré效应长焦测焦仪的设计及校准技术研究

【摘要】 为了满足针对影响仪器测量不确定度的系统参量，分别设计了校准方法，并对仪器测量不确定度评定结果进行了实验比对验结果表明，校准后仪器测量不确定度评定为;校准后的长焦测焦仪测量结果与刀口仪测量结果满足测量不确该研究验证了长焦测焦仪系统参量;长焦测焦仪测量不确定度评定合理Talbot-Moiré，小于6.4%0.641。。。仪证定度比对公式;对比结果最大为校准方法的可行性。

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