逆向迭代离轴非球面检测方法
【摘要】 迭代非零检测法离轴非球面广泛应用于现代光学系统中一般需要特定的光学辅助元件对其进行检测，为此提出一种逆向，该方法可以不借助光学辅助元件适用于检测同一类的离轴非球面，首先设计检测光路并采，。。用逆向迭代法去除非零误差然后对系统误差。调整误差和随机误差等进行分析补偿以及各项误差的处理方法、最后通过仿真模拟逆向迭代求解离轴非球面的面形方均根值为，0.133λ，与仿真模拟的实际面形一致逆向迭代非零检测法是针对离轴非球面一种高精度和通用型的非零检测方法。仿真拟合的，。10-5λ以内。残差在
