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基于光矢量网络分析的可调氮化硅微环延时测试研究

【摘要】 通过高频率分辨率的光矢量网络分析法测试氮化硅微环的相位特性可以实现对延时量的间接测试。但测试系统中的相位噪声、激光载波频率波动、信噪比等因素会影响氮化硅微环芯片延时谱的测量稳定度。实验分析这些因素对氮化硅微环延时谱测量的影响，并通过测试系统优化和数据处理实现了延时分辨率为10ps、消光比分辨率为0.04dB的高分辨率测量，为氮化硅微环在微波光子波束形成系统中的测试及应用提供了重要的参考价值。

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