基于层叠式夹持的夹具失效形式分析
【摘要】 目的为了解决超薄蓝宝石晶片的双平面加工问题，确定层叠式夹具基盘及限位片的材料，并对限位片的失效形式进行分析。方法通过分析层叠式夹具中工件在双平面加工中的受力状态及传统双平面加工工件受力状态，确定限位片的受力状态。测量蓝宝石与基盘间的摩擦力对基盘材料进行选择，通过受力分析结合摩擦因数计算限位片的剪切强度，对限位片的材料进行初步选择。在平面抛光机上进行加压试验，对限位片的失效形式进行分析。结果层叠式夹具在双平面加工中受到工件施加的力小于传统双平面加工行星轮受到的力。在3种基盘材料中，不锈钢材料与蓝宝石晶片间的摩擦力较大，铸铁次之，铝合金最小。液滴在2个表面间形成的液膜对不锈钢和铸铁的摩擦因数有一定的增益效果。基盘选择不锈钢材料，限位片选择玻璃纤维板材料的情况下，限位片所承受的加工压力随着夹持厚度的增加而呈现非线性增加。限位片的主要失效形式表现为限位区域被蓝宝石晶片的边缘切割，受基盘及蓝宝石平面度的影响。结论层叠式夹具对材料强度的要求更低，更加适用于超薄平面零件的双平面加工。限位片失效受基盘高度差的影响，为保证限位片的夹持效果，应尽量降低基盘表面的
