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一种小型离子泵电源的设计

【摘要】 真空行业的迅速发展对离子泵电源提出了新的需求与挑战，小型轻量、智能控制和节能高效的离子泵电源将成为行业发展趋势。本文提出了一种通用性强的小型离子泵电源的设计方案，介绍了系统组成与拓扑结构，给出了电路参数计算和分析说明，并对该电源进行工程上的测试验证。实践表明，该电源能适配多种型号的离子泵，工作稳定可靠。

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