粘滑式压电驱动平台的复合控制
【摘要】 粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动，它由微动台和滑块组成，而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度。为了解决这一问题，提出了一种基于主动阻尼的复合控制策略（PI-DPF-FF）。首先，对输入的锯齿波信号进行滤波，使其更平滑。接着，采用时滞位置反馈控制器来主动提高微动台的阻尼，抑制振动。选用跟踪控制器和改进型零相位误差跟踪控制器来减小跟踪误差，提高跟踪带宽。最后，在粘滑式压电驱动平台的样机上对PI-DPF-FF控制器进行了验证。实验结果表明：与常规的比例积分控制器相比，PI-DPF-FF控制器将微动台跟踪带宽由32.7Hz提高到1466.5Hz。当系统输入占空比为0.2和频率为100Hz的信号时，与常规的前馈控制器相比，PI-DPF-FF控制器将滑块角速度由3.52mrad/s提高到9.03mrad/s，平台运动速度有了明显的提高。
