大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺
【摘要】 提出了基于翘板式摇床辅助的显影方法，利用有限元法模拟了摇床工作时整个样品表面的流场分布以及显影液在不同显影时间长带来的显影不均匀问题、光刻胶层厚、。高宽比微结构光栅表面的流场分布模拟结果表明。参数确定方法数的合理性。并通过实验给出了沟槽深宽比和显影速率之间的关系，在显影时间为显影速率为10~12min，0.21~0.23m/s，通过摇床摆动可以实现显影液均匀流动，提出了快速的显影，提供了可参考的显影工艺参数，并验证了工艺参然后。沟槽深宽比为2.5，，光刻胶厚度为的光栅200μm。的显影均匀性优于96%。键关
