一种高电压环境下的二维微位移测量系统研制
【摘要】 高压电容器高低压电极之间不同轴，在通电状态下高低压电极间会产生相对位移，影响电容电压系数。为准确测量在高电压环境下高、低压电极之间的相对位移，研制一种基于微结构特征与数字图像序列分析相结合的二维微位移测量系统。该系统由标片、工业相机、镜头、环形光源、无线通信模块、微型电脑等部分组成。通过激光干涉仪对标片上圆心距离进行精确标定，各方向标定系数分散性标准差为2.16×10–4 μm/像素，再通过圆心距离计算测量系统每个像素代表的长度值，采用这种方法可以将系统的测量结果溯源至激光波长。通过对系统精度的实验验证，在[0 mm, 8 mm]测量范围内，所研制系统在二维方向的准确度优于4.9 μm。结果表明，该系统满足高压电容器高低压电极之间位移测量精度要求。
