一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置
【摘要】 针对国产化大抽速分子泵测试需求，研制出基于CF40010~10-9Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量，仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于范围的抽速测试，而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能，用磁悬浮转子真空计作为参考标准，实现在研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量，避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准实验结果证明，装置对分子泵抽速的测试范围为，测量结果的合成标准不确定度为10-1~10-7Pa10-1~10-4Pa。。接口分子泵抽速测试装置采用量程为2.2%~4.4%。。
