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不锈钢压力传感器芯体研制

【摘要】 设计了基于硅应变片的不锈钢压力传感器芯体，作为压力敏感单元的不锈钢基体是基于机械加工工艺的一体结构，无焊缝，无橡胶圈，完全无工作介质泄露风险，同时利用高灵敏度的硅应变片将不锈钢敏感单元形变转换为电信号。通过搭建的测试系统，传感器芯体输出线性度最优达到0.32%左右，性能指标优良。本传感器芯体经组装成为压力传感器，可以广泛应用于汽车电子和工业电子等各种场合，包括各种不锈钢兼容的腐蚀性介质环境。

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