声速对硅基氮化铝复合声子晶体带隙影响
【摘要】 该文基于布喇格散射机理，采用有限元仿真技术重点研究材料声速对二维A1N/B/Si复合声子结构体带隙特性的影响。首先以Mo作为B层，逐次分析A1N、A1N/Mo、AlN/Mo/si出现最大带隙宽度时，A1N、Mo、Si各层厚度的最优值;然后分别选取具有声速梯度的材料作为B层，研究B材料声速对复合声子晶体带隙宽度变化率的影响。结果表明，当B层与Si、A1N的声速差值小于3000m/s时，B层厚度的变化引起复合声子晶体带隙宽度变化率低于25%，而B层与si、AlN的声速差值越大，改变B层厚度会造成带隙宽度变化率越大，最高可达i00%。
