平行平板横向剪切干涉仪波前重建精度的研究
【摘要】 ，将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交最终影响波前测量的准确度真实验研究了两个方向平行平板之间不同大小的角度误差对波前重建精度的影响条件下之间的关系以及角度误差一定时明式来拟合波前涉仪的装调将会起到一定的指导作用横向剪切干涉仪关键词:中图分类号:TP394.1，本文通过仿分析了不同与角度误差研究结果表多项本文的结论对于平行平板横向剪切干文章编号:1005-0086（2020）09-0921-07及均方根误差与剪切量之间的关系;文献标识码:A要尽量降低两个平行平板之间的角度误差并且保证剪切量与波面尺寸比值大于为了提高波前重建
