期刊屋 > 电子

I2形原子力显微镜探针设计优化

【摘要】针对基于微机电系统(然有很多优点，但由于比尚有一定差距的问题，通过对相同结构，相同输入前提下，改进后探针的力灵敏度达到一步对检测电路的优化，力灵敏度有望满足商用需求(小于