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大量程气体流量传感器的仿真与设计

【摘要】 基于热传递原理，设计了一种大量程气体流量传感器。采用FLUENT进行结构的仿真，结合权重法确定传感器的最优结构模型。研究了传感元件的温度特性，确定了传感器的工作状态。设计了传感电路，对传感器进行了自动温度补偿。测量中采用两种不同的测量原理，使传感器能够检测微小流量和中、大流量，提高了传感器的测量范围。实验结果表明该传感器测量流量量程为0.14m3/h~130m3/h，测量误差优于1.5%。

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