压电陶瓷传感器的灵敏度温漂误差补偿研究
【摘要】 针对微测系统中压电陶瓷传感器的灵敏度温漂会使其在变化的温度环境中工作时性能不稳定，进而影响检测精度问题，提出了一种基于改进Elman神经网络的压电陶瓷传感器灵敏度温漂误差补偿控制方法。分析了压电陶瓷传感器产生灵敏度温漂现象的原因。以压电陶瓷切削力测量传感器为对象，在不同温度下对传感器的灵敏度进行了标定试验研究。研究结果表明，压电陶瓷传感器在同一温度下工作时具有良好的线性度，在温度变化的环境中工作会伴有灵敏度温漂现象。为了有效补偿灵敏度温漂附加误差，提高检测精度，建立了基于改进Elman神经网络的灵敏度温漂补偿模型，并对模型涉及的学习算法、激励函数、输入输出层节点以及承接层和隐含层节点数等相关内容进行了研究。对比试验验证结果表明，所建立的灵敏度温漂补偿模型对压电陶瓷传感器的灵敏度温漂误差补偿控制效果明显，未经灵敏度温漂补偿，直接按照常温下灵敏度标定结果预测的压电陶瓷传感器加载力和实际加载力之间误差较大，最大误差达到29.16N，利用本文建立的基于改进Elman神经网路灵敏度温漂补偿模型补偿后，补偿模型的预测力和压电陶瓷传感器的实际加载力最大误差仅0.72
