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基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法

【摘要】针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容，导致驱动信号的电馈通，限制了陀螺仪的灵敏度的问题，采用一种新型驱动方式-参数激励法，可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明，通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位)，可以以可控的方式显著地减少电馈通。